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대표분류
구분
기술테마
연구기관
기술명
연구자

296
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
입자복합특성측정 장치
강상우

295
분리/혼합
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
입자 포획 장치
강상우

294
전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치
강상우

293
전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
음파를 이용한 오염입자 집속장치 및 집속방법
강상우

292
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
유체 렌즈를 이용한 다층 구조 측정 장치 및 그 측정 방법
진종한

291
전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
유전체 창문 오염 방지 장치, 자체 플라즈마 광 방출 스펙트럼 장치, 및 입자 측정 장치
강상우

290
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
유량조절장치 및 이를 이용한 입자 복합특성 측정장치
강상우

289
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
유기금속화학증착 공정을 위한 전구체 변질 진단장치 및진단방법
윤주영

288
전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
웨이퍼 면방위 측정용 홀더 및 이를 포함하는 측정 장치
김창수

287
전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
웨이퍼 가공 방법과 그 장치
정세채

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