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입자복합특성측정 장치

입자복합특성측정 장치 상세정보
대표분류 측정/검사/시험 구분 소재부품장비 기술분야
기술테마 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 강상우
기술내용 본 발명에 의한 입자측정장치는, 전자생성 및 집속이 이루어지며, 내부를 진공으로 유지하는 메인 프레임; 상기 메인 프레임과 결합되는 제 1 챔버; 상기 제 1 챔버의 내부 공간에 설치되는 입자 포집유닛; 상기 제 1 챔버에 상기 입자 포집유닛을 바라보도록 설치되어, 상기 입자 포집유닛에 포집된 입자를 광학적으로 측정 가능한 제 1 검출유닛; 상기 제 1 챔버에 상기 입자 포집유닛을 바라보도록 설치되어, 상기 입자 포집유닛에 입자를 주입하는 제 2 검출유닛;을 포함하며, 상기 입자 포집유닛은, 상기 제 1 검출유닛의 스테이지 역할과, 상기 제 2 검출유닛으로부터 주입된 입자의 포집 역할을 동시에 수행하는 것을 특징으로 한다.
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