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측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
플라즈마 전자밀도 측정 및 모니터링 장치
김정형
315
전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
플라즈마 유기금속화학증착 공정을 위한 탄소불순물 생성진단방법 및 진단장치
윤주영
314
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
플라즈마 설비용 내구성 부품의 오염입자 평가장비
윤주영
313
전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
플라즈마 발생 장치
이효창
312
전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
플라즈마 도움 화학 기상 증착 장치 및 플라즈마 도움 화학 기상 증착 방법
김정형
311
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
플라즈마 공정 설비용 코팅기재의 부식촉진 장치 및 이를 이용한 신뢰성 시험방법
윤주영
310
전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
포토리소그래피 방법
유은아
309
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
펄스레이저를 이용한 물질 두께 및 굴절률 측정 시스템
진종한
308
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
투명 기판 모니터링 장치 및 투명 기판 측정 방법
김재완
307
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
코팅성능 평가장치
윤주영
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