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구분
기술테마
연구기관
기술명
연구자

326
화학
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
대면적 단결정 단원자층 hBN의 제조 방법, 장치 및 이를 이용한 단원자층 그래핀 성장을 위한 기판
황찬용

325
도금
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
화학증착소재 실시간 진단장치
강상우

324
전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측 시스템
윤주영

323
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
화학물질 충진시의 액상 수위 진단장치
윤주영

322
전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단장치 및진단방법_2
윤주영

321
전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단장치 및진단방법
윤주영

320
도금
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치
윤주영

319
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
홀 형상 및 깊이 측정 장치 및 방법
진종한

318
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
형상 측정장치 및 그 방법
김재완

317
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
플라즈마 측정 장치 및 측정 방법
유신재

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