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음파를 이용한 오염입자 집속장치 및 집속방법

음파를 이용한 오염입자 집속장치 및 집속방법 상세정보
대표분류 전기소자 구분 소재부품장비 기술분야
기술테마 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 강상우
기술내용 본 발명은 반도체 디스플레이 공정에서 발생하는 오염입자를 음파를 이용해 집속하고 선별 및 분리하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 이용해 의하여 오염입자 측정장치의 효율을 극대화시킬 수 있다.
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