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웨이퍼 면방위 측정용 홀더 및 이를 포함하는 측정 장치
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 김창수 |
| 기술내용 | 본 발명은 웨이퍼의 면방위 측정을 위한 홀더 및 이를 포함하는 측정 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼의 면방위 측정 시 웨이퍼의 측정 기준면을 웨이퍼의 표면으로 하고, 웨이퍼의 표면 수직축과 웨이퍼를 회전시키는 측정 장비 회전축의 편심을 고려하여 보다 정밀한 웨이퍼의 면방위 측정이 가능한 웨이퍼 면방위 측정용 홀더 및 이를 포함하는 측정 장치에 관한 것이다. | ||
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