본문 바로가기
전체메뉴닫기
유체 렌즈를 이용한 다층 구조 측정 장치 및 그 측정 방법
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 진종한 |
| 기술내용 | 본 발명은 다층 구조 측정 장치 및 그 측정 방법을 제공한다. 상기 다층 구조 측정 장치는 광원; 상기 광원의 출력광을 제공받아 평행광을 제공하는 시준 렌즈; 상기 시준 렌즈를 통과한 입사광을 제공받아 다층 구조의 시료에 제공하고 상기 시료로부터 반사된 샘플광을 투과시키는 광분할기; 상기 광분할기가 제공하는 상기 입사광을 집속시키어 상기 시료에 제공하고 가변 초점 거리를 가지는 유체 렌즈부; 상기 광분할기를 투과한 상기 샘플광을 집속시키는 집속 렌즈; 상기 집속 렌즈의 초점 거리에 배치된 핀홀; 상기 핀홀의 후단에 배치되는 광검출기; 및 상기 유체 렌즈부의 초점 거리를 가변하기 위하여 상기 유체 렌즈부의 내부에 유체를 제공하는 유체량 조절부를 포함한다. | ||
| 자료집 | 다운로드 | ||