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소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
다중주성분분석 기반의 통계기법을 이용한 진공펌프 상태진단방법
이수갑
265
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
내플라즈마성 코팅부품의 아킹 평가장치 및 평가방법
윤주영
264
전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
내플라즈마 평가방법
윤주영
263
전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
유신재
262
전기소자
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
금속 이온을 이용한 반사 방지성 실리콘 웨이퍼의 제조 방법
송재용
261
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기 및 이를 이용한 시료의 뮬러-행렬 측정 방법
조용재
260
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
광소자 회전형 분광타원계측기 및 광소자 회전형 분광타원계측기의 측정 정밀도 예측 방법, 이를 구현하기 위한 프로그램이 저장된 기록매체 및 이를 구현하기 위해 매체에 저장된 컴퓨터프로그램
조용재
259
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
광섬유를 이용한 미세 패턴의 선폭 및 깊이 측정 장치 및 측정 방법
진종한
258
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
공정가스 분석장치
강상우
257
측정/검사/시험
소재부품장비 기술분야
반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
한국표준과학연구원
고정확 실시간 미세 입자 크기 및 개수 측정 장치
강상우
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