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유량조절장치 및 이를 이용한 입자 복합특성 측정장치

유량조절장치 및 이를 이용한 입자 복합특성 측정장치 상세정보
대표분류 측정/검사/시험 구분 소재부품장비 기술분야
기술테마 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 강상우
기술내용 본 발명에 의한 유량조절장치는 양단에 동일 형상의 제 1 플랜지부가 형성되며, 파이프 형상의 제 1 부재; 상기 제 1 플랜지부와 대응되는 형상의 제 2 플랜지부가 형성되어, 상기 제 1 및 제 2 플랜지부의 면 접촉으로 상기 제 1 부재와 연결되며, 외주면에 나사산부를 가지는 제 2 부재; 내주면에 상기 나사산부와 나사 결합되는 암나사부가 형성되어 일측 끝단이 상기 제 2 플랜지부와 접촉하는 위치까지 삽입 가능한 조절부재; 상기 제 2 부재 및 조절부재 내부 공간부에 삽입 배치되어 상기 조절부재의 회전 동작에 연동하여 축 방향으로 왕복 이동하며, 상기 조절부재의 일측 끝단과 면 접촉하는 몸체와 내부 공간부를 유동하는 입자가 포함된 기체의 통과 유량을 조절하기 위해 상기 제 2 부재의 중앙에 형성된 통공에 결합되는 팁 부재를 포함하는 이동부재; 및 상기 이동부재의 끝단에 결합되어, 상기 이동부재와 함께 움직이며, 제 3 플랜지부를 가지는 제 3 부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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