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유전체 창문 오염 방지 장치, 자체 플라즈마 광 방출 스펙트럼 장치, 및 입자 측정 장치
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 강상우 |
| 기술내용 | 본 발명은 유전체 창문 오염 방지 장치, 자체 플라즈마 광 방출 스펙트럼 장치, 및 입자 측정 장치를 제공한다. 이 유전체 창문 오염 방지 장치는 진공 용기에 부착된 플랜지와 결합하는 유전체 창문, 및 유전체 창문의 주위 또는 플랜지에 배치되어 오염 방지 가스를 상기 유전체 창문에 제공하는 노즐부를 포함한다. | ||
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