| 기술내용 |
본 발명은 화학 증착에 이용되는 유기 및 무기화학물 또는 유기금속화합물 등의 전구체의 상태를 정확하게 측정하기 위한 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치에 관한 것이다. 본 발명의 이중측정장치를 이용한 전구체 상태 진단 장치는, 화학 증착 공정에 사용되는 전구체 보관 용기(300)에 구비되는 전구체 상태 진단 장치에 있어서, 상기 전구체 보관 용기(300)의 하면 전체에 걸쳐 구비되는 제1가이드(120) 및 상기 전구체 보관 용기(300) 하면을 따라 이동 가능하게 상기 제1가이드(120) 상에 구비되어 전구체의 잔존량을 측정하는 제1센서(110)를 포함하여 이루어지는 제1진단장치(100); 및 상기 전구체 보관 용기(300)의 측면 일부에 걸쳐 구비되는 제2가이드(220) 및 상기 전구체 보관 용기(300) 측면을 따라 이동 가능하게 상기 제2가이드(220) 상에 구비되어 전구체의 분해도를 측정하는 제2센서(210)를 포함하여 이루어지는 제2진단장치(200); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. |
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