| 기술내용 |
본 발명은 유기금속화학증착 공정을 위한 전구체 변질 진단장치 및 진단방법에 관한 것으로, 운반기체가 담긴 봄베; 일측이 봄베에 배관된 제 1파이프; 액상의 유기금속 전구체가 담기고, 운반기체가 유기금속 전구체를 버블링하여 기화하도록 제 1파이프의 타측이 유기금속 전구체에 수장되어 배관되는 용기; 일측이 유기금속 전구체의 수면 위에 배치되게 용기에 배관되어 유기금속 전구체 및 운반기체가 이송되는 제 2파이프; 제 3파이프의 타측이 배관되고 유기금속 전구체로 화학증착 공정이 수행되는 반응로; 제 2파이프 및 제 3파이프에 주입파이프 및 배출파이프로 배관되어 유입되는 유기금속 전구체를 분광하고 반응로에 배출하는 분광수단; 분광수단에 전기적으로 연결되어 전송되는 분광 데이터를 기초로 최강분자결합 대비 최약분자결합의 분광도 피크 면적비를 연산하고 설정된 기준 면적비와 비교 처리하는 컴퓨터; 기준 면적비 이하의 피크 면적비 도출에 따라 알람음향이 방출되도록 컴퓨터에 전기적으로 연결되는 알람발생기;를 포함하여 구성되어 운반 도중의 전구체를 적외선 분광/분석하여 변질됨이 판단됨에 따라 알람방출하는 것을 특징으로 한다. 이 때 분광수단은, 적외선 분광분석기인 것이 바람직하다. |
본문 바로가기
전체메뉴닫기
