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내플라즈마 평가방법
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 윤주영 |
| 기술내용 | 본 발명은 내플라즈마 평가방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 반도체와 같은 정밀기기에 사용되는 부품의 코팅성능을 측정하기위한 방법 중 내플라즈마 평가방법에서 시편을 측정하기 위한 챔버의 환경조건을 표준화하여 측정장치의 챔버 크기가 다른 상황에서도 유사한 측정값을 얻을 수 있도록 하는 내플라즈마 평가방법에 관한 것이다. 본 발명의 내플라즈마 평가방법은 플라즈마의 전자밀도를 기준으로 플라즈마발생장치의 파워를 조절하여 챔버내의 플라즈마 밀도를 일정하게 유지함으로써 챔버의 크기에 관계없이 일정한 전자밀도를 갖는 챔버 환경을 제공할 수 있다. 또한, 상기 균일한 전자밀도의 플라즈마 상태에 시편이 일정시간 노출하여 반응이 이루어지게 함으로써 측정기기가 변경되어도 동일/유사한 측정값을 수취하여 내플라즈마 정도를 평가 하여 코팅이 적합하게 이루어진 부품 사용이 가능하도록 하는 유용한 방법의 제공이 가능하게 된 것이다. | ||
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