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금속 이온을 이용한 반사 방지성 실리콘 웨이퍼의 제조 방법
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 송재용 |
| 기술내용 | 이소프로필알코올과 같은 유기 용매의 사용 없이 반사 방지성 실리콘 웨이퍼를 제조하는 방법이 개시되어 있다. 이러한 방법은 실리콘 보다 낮은 전자 친화도를 가지는 금속을 알칼리성 용매에 이온화시켜 생성된 용액에 실리콘 웨이퍼를 접촉시켜 실리콘 웨이퍼의 표면의 일부 또는 전부를 (111) 면으로 요철화시켜 반사 방지성 실리콘 웨이퍼를 제조하는 공정을 포함한다. 이러한 방법에 의하면, 휘발성 유기 용매를 사용하지 않고 환경적으로 및 공정적으로 유리하며, 상온 근처에서도 실리콘 표면을 요철 가공할 수 있고, 요철화시키는 온도에 따라 요철화되는 실리콘의 크기를 임의로 조절할 수 있다. | ||
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