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고정확 실시간 미세 입자 크기 및 개수 측정 장치
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 강상우 |
| 기술내용 | 본 발명은 광원부와; 상기 광원부의 전면에 위치하며 집속되는 광을 평행광의 형태로 변형할 수 있도록 하는 Flat-top모듈과; 상기 Flat-top모듈을 통과한 광을 집속하여 유입된 입자에 조사시켜 회절 흡수, 투과, 반사 등의 현상을 발생하는 플로우 채널 및; 상기 플로우 채널을 통과한 입사광을 수광하여 산란 및 소멸광 강도를 감지하여 입자의 크기를 측정하는 광측정부를 포함하는 것으로서, 플로우 채널 내에 유입된 입자에 광을 조사하고 이때 발생되는 산란 및 소멸광의 강도를 이용하여 입자의 크기를 측정함에 있어 Flat-top모듈을 이용하여 집속된 입사광은 r축 방향으로 균일광이고, z축에 따라 변화여도 레지던스 타임(Residence time)을 이용하여 정확한 입자 크기 측정이 가능한 효과를 도모할 수 있도록 하는 실시간 미세 입자 크기 및 개수 측정 장치에 관한 것이다. | ||
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