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광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기 및 이를 이용한 시료의 뮬러-행렬 측정 방법
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 조용재 |
| 기술내용 | 본 발명은 임의의 시료에 대한 뮬러 행렬 성분들 중에서 전부 또는 일부를 종래의 이중-광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기들의 광원의 잔류 편광 및 광검출기의 편광 의존성과 고차항의 푸리에 계수들의 측정값 때문에 생기는 측정 정확도 및 측정 정밀도의 문제점을 해결하기 위한 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기를 제공하고자 하는 것이다. | ||
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