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내플라즈마성 코팅부품의 아킹 평가장치 및 평가방법

내플라즈마성 코팅부품의 아킹 평가장치 및 평가방법 상세정보
대표분류 측정/검사/시험 구분 소재부품장비 기술분야
기술테마 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 윤주영
기술내용 본 발명은 챔버 내부에서 코팅기재의 아킹이 발생하지 않고 견딜 수 있는 임계전압과 아킹이 발생하는 시점을 측정하기 위한 아킹 유발장치 및 임계전압 측정방법을 포함하는 내플라즈마성 코팅부품의 평가장치 및 평가방법에 관한 것이다.
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