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광섬유를 이용한 미세 패턴의 선폭 및 깊이 측정 장치 및 측정 방법
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 진종한 |
| 기술내용 | 본 발명은 광학 장치 및 표면 형상 측정 장치를 제공한다. 이 장치는 광대역의 가간섭 광을 조사하는 광원부; 입력단으로 상기 광원부의 입사광을 제공받아 제1 출력단 및 제2 출력단으로 상기 제1 입사광 및 제2 입사광을 분기하는 제1 광섬유 커플러; 상기 제1 광섬유 커플러의 제2 출력단으로부터 제2 입사광을 제공받는 제1 단자, 상기 제1 단자로부터 제공받은 상기 제1 입사광을 샘플에 제공하는 제2 단자, 및 상기 샘플에서 반사된 반사광을 상기 제2 단자로 제공받아 출력하는 제3 단자를 포함하는 광 서큘레이터; 상기 제1 광섬유 커플러의 제1 출력단으로부터 제1 입사광을 제공받는 제1 입력단, 상기 반사광을 제공받는 제2 입력단, 및 상기 제2 입사광과 상기 반사광을 결합하여 출력하는 출력단을 포함하는 제2 광섬유 커플러; 및 상기 제2 광섬유 커플러의 출력광을 제공받아 파장에 따라 간섭광의 세기를 측정하는 스펙트럼 분석기를 포함한다. | ||
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