본문 바로가기
전체메뉴닫기
다중주성분분석 기반의 통계기법을 이용한 진공펌프 상태진단방법
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 이수갑 |
| 기술내용 | 본 발명은 다중주성분분석(Multiway Principal Component Analysis)이나 동적시간 왜곡 알고리즘(Dynamic Time Warping Algorithm) 기법 등에 의해 다수의 센서의 신호로부터 진공펌프 상태에 대한 T2값을 계산하고, 진공펌프가 정상동작범위에 있는 동안 얻어진 T2값을 기준으로 하여 진공펌프로부터 측정되는 T2값과의 대비를 통해 진공펌프의 이상징후를 확인 표시함으로써 가혹한 운전조건과 비선형적 특성으로 인하여 반도체 공정에 사용되는 진공펌프의 고장 시점을 정확히 예측해 내기가 어려워 불량품이 양산되거나 불필요한 재원이 낭비되는 등의 문제가 발생하던 종래와는 달리 진공펌프의 운전상태를 올바르게 모니터링하고 고장 지점을 정확히 인지해 적절한 진공펌프의 교체시점을 알려줄 수 있다. | ||
| 자료집 | 다운로드 | ||