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펄스레이저를 이용한 물질 두께 및 굴절률 측정 시스템
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 진종한 |
| 기술내용 | 본 발명은 물질의 두께 및 굴절률을 측정하는 시스템에 관한 것으로, 좀 더 자세히는, 펄스 레이저 광원을 이용함으로써, 연속 발진 레이저 광원이나, 적외선 광원을 이용하는 산출 시스템 보다 간단한 작업으로 정확도가 높은 물질의 두께 및 굴절률을 동시에 산출할 수 있는 기술에 관한 것이다.본 발명에 따른 펄스레이저를 이용한 물질 두께 및 굴절률 측정 시스템은 주기적인 간격으로 발진하는 펄스 형태의 레이저를 제공하는 광조사부 및 상기 광조사부에서 나오는 레이저 광을 이용하여, 측정 물질의 간섭 신호를 측정하고, 이를 분석하여, 측정 물질의 두께 및 굴절률을 동시에 산출하는 스펙트럼 분석 간섭부로 구성되는 것을 특징으로 한다. | ||
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