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플라즈마 공정 설비용 코팅기재의 부식촉진 장치 및 이를 이용한 신뢰성 시험방법
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 윤주영 |
| 기술내용 | 본 발명은 플라즈마 공정 설비용 코팅기재의 부식촉진 장치 및 이를 이용한 신뢰성 시험방법에 관한 것이다. 본 발명은 코팅기재의 부식촉진 장치 및 코팅기재의 신뢰성 시험방법에 관한 것으로, 코팅기재를 부식시킬 수 있는 부식촉진부를 포함하여, 상기 코팅기재를 짧은 시간 내에 부식시킬 수 있으며, 이에 따른 오염입자 발생량을 측정함으로써, 상기 코팅기재의 부식특성을 용이하게 측정할 수 있는 효과가 있다. | ||
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