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플라즈마 도움 화학 기상 증착 장치 및 플라즈마 도움 화학 기상 증착 방법
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 김정형 |
| 기술내용 | 본 발명은 플라즈마 도움 화학 기상 증착 장치 및 방법을 제공한다. 이 장치는 기판을 장착하는 기판 홀더를 포함하는 진공 챔버, 일단은 진공 챔버의 상부면에 형성된 관통홀에 장착되는 유전체 튜브, 유전체 튜브를 감싸도록 배치되고 RF 전력을 제공받아 유전체 튜브의 내부에 플라즈마를 생성하는 플라즈마 발생부, 및 유전체 튜브에 금속 증기를 제공하는 증발원을 포함한다. 금속 증기는 플라즈마를 통과하여 기판에 제공되어 금속-질화막 또는 금속-산화막을 형성한다. | ||
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