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투명 기판 모니터링 장치 및 투명 기판 측정 방법
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 김재완 |
| 기술내용 | 본 발명은 투명 기판 모니터링 장치 및 투명 기판 모니터링 방법을 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 투명 기판 모니터링 장치는 광을 조사하는 발광부; 입사 광의 진행 방향을 가로지르는 제1 방향 및 제2 방향으로 정의되는 평면에 배치되고, 상기 제1 방향으로 서로 이격되어 상기 광을 통과시키는 제1 슬릿와 제2 슬릿을 포함하는 이중 슬릿; 상기 발광부와 상기 이중 슬릿의 사이에 배치된 투명 기판의 제1 위치를 투과하고 상기 제1 슬릿을 통과한 제1 광과 상기 투명 기판의 제2 위치를 투과하고 제2 슬릿을 통과한 제2 광에 의하여 스크린 평면 상에 형성된 간섭 패턴(interference pattern)을 측정하거나 상기 간섭 패턴의 위치 이동을 측정하는 광 검출부; 및 상기 광 검출부로부터 신호를 수신하여 상기 제1 위치 및 제2 위치에 기인한 광 위상차 또는 광 경로차를 산출하는 신호 처리부;를 포함한다. | ||
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