| 기술내용 |
본 발명은 코팅성능장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 반도체 제조에 사용되는 정밀기계 부품의 코팅성능을 측정하는 장치로 하나의 장치를 이용하여 플라즈마와 화학기체에 대한 내식평가와 온도영향평가 및 플라즈마 공정시 파티클의 발생 평가를 각각 수행할 수 있도록 하였다. 특히, 트레이에 다수의 시편을 안치하여 각 평가를 수행함으로 동일한 조건에서 동시에 측정이 이루어져 측정오차를 줄일 수 있는 코팅성능장치에 관한 것이다. 본 발명의 코팅성능 평가장치는, 반도체 제조에 사용되는 정밀기계 부품의 코팅성능을 평가하는 장치에 있어서, 중공부를 갖는 챔버와; 상기 챔버의 하부면에 설치되고, 산성을 띠는 부식용액을 담지하는 화학용기와; 상기 챔버의 중단에 설치되고, 내면에 관통공이 형성되어 하부의 부식가스가 트레이 상부에 안치된 시편 코팅면인 저면에 접촉되도록 하는 트레이와; 상기 챔버의 상부에 설치되는 플라즈마발생장치와; 상기 챔버에 열을 가하는 가온수단;를 포함하여 구성된다. 또한, 상기 트레이는 다수의 관통공이 형성되어 다수의 시편을 동시에 시험하도록 하며, 상기 트레이의 관통공은 상부측에 단턱이 형성되도록 하여 상기 단턱에 시편을 안시키며 평면상으로 이동되는 것을 방지하도록 한다. |
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