| 기술내용 |
본 발명은 플라즈마 유기금속화학증착 공정을 위한 탄소불순물 생성 진단방법 및 진단장치에 관한 것으로, 플라즈마 유기금속화학증착 공정을 위한 해당 유기금속 전구체의 탄소불순물의 기준 분광 데이터를 컴퓨터에 저장하는 단계(S1000), 반응로 내에 형성된 플라즈마로 기화된 유기금속 전구체를 주입하여 분해하는 단계(S2000), 상기 플라즈마 및 해리된 상기 유기금속 전구체의 당해 분자들의 분광 데이터를 검출하고 상기 컴퓨터에 전송하는 단계(S3000), 상기 검출된 당해 분광 데이터를 상기 기준 분광 데이터와 비교하여 상기 탄소불순물의 생성 여부를 판단하는 단계(S4000) 및 상기 탄소불순물의 생성 판단에 따라 알람음향을 방출하는 단계(S4000);를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이 때 상기 기준 분광 데이터는, 상기 탄소불순물이 증착된 박막으로 함입될 수 있는 탄소불순물의 크기, 상기 박막과의 화학반응 및 불완전한 분자구조를 기초로 설정되는 것이 바람직하다. 또한 분광 데이터의 검출을 위해 반응로에 광학 방출 분광기가 연결되는 진단장치 구조가 바람직하다. |
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