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플라즈마 설비용 내구성 부품의 오염입자 평가장비
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 윤주영 |
| 기술내용 | 본 발명은 플라즈마 공정 설비용 내구성 부품의 오염입자 평가장비에 관한 것으로, 챔버 일측에 가스 주입부를 구비하여 챔버 내부에 플라즈마를 발생시킬 수 있고, 챔버 내부에 내구성 부품을 수직구조로 장착할 수 있으며, 내구성 부품에서 플라즈마를 발생시켜 오염입자를 유발시킬 수 있고, 발생된 오염입자는 집속부를 통하여 오염입자 측정장치까지 효율적으로 전달시킬 수 있으며, 떨어지는 오염입자는 오염입자 측정장치에서 실시간으로 그 발생량과 크기를 측정할 수 있고, 입자 포집모듈을 구비하여 평가 이후에 입자 형상과 성분 및 구조를 분석할 수 있도록 오염입자 샘플링이 가능하다. 플라즈마를 활용하는 장비는 동일한 공정조건을 사용함에도 불구하고, 일정 기간이 지나면 장비성능을 똑같이 유지하지 못하여 평가 결과의 재현성이 낮은 문제점이 있다. 이를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 평가장비는 표준입자를 활용한 교정모듈을 포함하고 있어 자체적으로 평가장비의 재현성 검증이 가능하다. | ||
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