멀티 노즐에서 분사되는 잉크젯 액적에 비 평행광 레이저를 조사하여 회절 무늬를 획득한 후, 위치 차이에 따른 회절 무늬 차이를 이용하여 노즐별로 토출되는 잉크젯 액적의 토출 상태를 모니터링할 수 있도록 하는 광회절법을 이용한 멀티 노즐 잉크젯 액적 모니터링 장 치 및 방법에 관한 기술

플라즈마 진단을 위한 안테나 전극을 활용하여 에지링과 같은 플라즈마 챔버 내의 유전체로 이루어지는 소모성 부품의 두께를 측정하여 마모에 의한 교체 주기를 예측하는 장치 및 시스템

적외선 흡수 기법을 사용하여 비접촉식으로 유량을 측정 및 제어하고 디스펜서 토출량 측정이 가능한 적외선 흡수 스펙트럼을 이용한 토출량 측정 센서 및 연속식 유량 측정 시스템