대물렌즈의 광학계를 효율적으로 형성하여 대물렌즈의 크기를 최소화 시킨 반도체 웨이퍼 열특성 분석 장치에 관한 기술 활용처 : 반도체 소자, 반도체 웨이퍼, 전자소자

용액공정 기술과 진공 증착기술을 혼합한 기술로 기존 기술의 한계를 극복하여 RGB OLED 방식으로 대면적 유리기판에 OLED 화소 형성이 가능한 원천 기술

잡음 억제기가 적용된 일반적인 연속파 레이저에서는 발진되는 특정 파장의 높은 에너지를 갖는 레이저와 주위 다른 파장의 낮은 에너지를 갖는 잡음 사이의 차이가 더욱 강화되어 품질이 좋은 연속파 레이저 발진이 가능함 또한, 광신호의 수신단에서 에러확률이 낮아지며 에러확률 개선을 위한 추가적인 증폭이 필요없고 작은양의 파워로 높은 정확성을 얻을 수 있음

이온빔을 사용, 시료 손상을 최소화하면서 증착소재 결함을 검출하는 방법 및 시스템 - 진공 챔버 내 시료가 배치된 시료대, 시료에 이온빔을 조사하여 이온화 공정을 수행하는 조사부, 조사부에 의해 시료에 발생된 이온화 정도를 검출하는 검출부, 이온화 정도와 조사된 이온빔의 클러스터의 크기를 비교하여 시료 결함 여부를 판단하는 판단부로 구성된 증착소재 결함 검출 시 스템 관련 기술