극초단 펄스 레이저 기반 AMOLED TV 비열 리페어 공정기술 및 리페어 장치

차세대 반도체/OLED/태양전지 제조 산업 전(前) 공정분야의 유해 화학용액 사용 공정을 친환경 케미컬인 오존 플라즈마 공정 으로 대체하기 위하여, Footprint를 최소화하고 오존생성효율을 극대화할 수 있는 고효율·고농도 오존 플라즈마 생성장치 기술

지구온난화물질인 HFCs 및 미세먼지 전구체인 VOCs 등의 유해가스를 극저온으로 응축하여 회수 및 처리하는 기술로서 자동차, 냉동기기의 저농도 폐 냉매를 고효율로 회수 및 처리, 발포제생산 시 사용되는 발포제(CFC, HCFC, HFCs)의 회수 및 재활용, 독성 저농도 VOCs 회수 및 처리 기술

지구온난화물질인 HFCs 및 미세먼지 전구체인 VOCs 등의 유해가스를 극저온으로 응축하여 회수 및 처리하는 기술로서 자동차, 냉동기기의 저농도 폐 냉매를 고효율로 회수 및 처리, 발포제생산 시 사용되는 발포제(CFC, HCFC, HFCs)의 회수 및 재활용, 독성 저농도 VOCs 회수 및 처리 기술