사업화 유망 기술
연구내용
- 플라즈마 진단을 위한 안테나 전극을 활용하여 에지링과 같은 플라즈마 챔버 내의 유전체로 이루어지는 소모성 부품의 두께를 측정하여 마모에 의한 교체 주기를 예측하는 장치 및 시스템