실시간 탐지 기술 기반 정량화된 최적 세라믹 맞춤형 소재 개발 실시간 탐지 기술 기반 층간 결함 최소화를 위한 최적 공정 변수 도출 실시간 결함 측정 및 최적 소재/공정 기반 복잡형상 세라믹 구조체 제작

ECR 공명 자기장이 형성된 스퍼터링 타겟 표면 부근에 마이크로파(예, 2.45 GHz)를 입사시켜 플라즈마를 발생시키고, 타겟에 전압을 인가하여 스퍼터링을 구현하는 기술

본 기술은 실리콘 카바이드와 같은 두 가지 원소 결정 물질을 원자층 단위로 연마할 수 있게 한 새로운 원자층 연마 시스템 및 연마 방법에 관한 기술