12대 국가전략기술
연구내용
- ECR 공명 자기장이 형성된 스퍼터링 타겟 표면 부근에 마이크로파(예, 2.45 GHz)를 입사시켜 플라즈마를 발생시키고, 타겟에 전압을 인가하여 스퍼터링을 구현하는 기술