압출 공정 기반 평관형 세라믹 분리막을 통하여 수질 자원 내 포함된 특정 크기의 오염 물질을 분리/흡착/반응을 통하여 제거할 수 있는 기술 개발 극한환경에서 화학적으로 비활성이며 안정성 우수한 기술 10 nm급 알루미나 분리막 제조 기술 표면에 산화막이 형성된 산화규소 입자를 포함하여 탄화규소계 MF 분리막 제조 기술

실시간 탐지 기술 기반 정량화된 최적 세라믹 맞춤형 소재 개발 실시간 탐지 기술 기반 층간 결함 최소화를 위한 최적 공정 변수 도출 실시간 결함 측정 및 최적 소재/공정 기반 복잡형상 세라믹 구조체 제작

ECR 공명 자기장이 형성된 스퍼터링 타겟 표면 부근에 마이크로파(예, 2.45 GHz)를 입사시켜 플라즈마를 발생시키고, 타겟에 전압을 인가하여 스퍼터링을 구현하는 기술

본 기술은 실리콘 카바이드와 같은 두 가지 원소 결정 물질을 원자층 단위로 연마할 수 있게 한 새로운 원자층 연마 시스템 및 연마 방법에 관한 기술