사업화 유망 기술
연구내용
- 본 기술은 실리콘 카바이드와 같은 두 가지 원소 결정 물질을 원자층 단위로 연마할 수 있게 한 새로운 원자층 연마 시스템 및 연마 방법에 관한 기술