누설 전류 발생을 방지하여 항복 전압 특성을 개선한 GaN계 전력 소자 제조 기술 - GaN(질화갈륨)계 전력 소잦 제작 시 실리콘 기판측에 입자빔을 조사하여 박막 손상 없이 누설 전류가 발생할 수 있는 원인을 제거하고 전류의 흐름을 막는 항복 전압 특성을 개선시킨 기술

스파터링 방식을 이용한 사파이어 박막 증착 기술 및 방법 / 스파터링방식박막증착기맞춤제작노하우

내구성 세라믹의 투명화를 통한 기능성 발현 기술 입성장 제어 및 소결공정 간소화에 의한 투명세라믹 내구성 혁신 기술 원자 단위 결함 억제에 의한 초고투명화 및 고체레이저 발진 효율 극대화 기술

나노결정립 복합세라믹과 마이크로결정립 모노리스세라믹을 이론밀도에 근접한 무기공(pore-free) 수준으로 소결함으로써 오염입자 발생과 직결된 소재의 식각률과 표면조도를 개선하여 반도체 공장장비의 내플라즈마 부품에 적용