사업화 유망 기술
연구내용
- 누설 전류 발생을 방지하여 항복 전압 특성을 개선한 GaN계 전력 소자 제조 기술
- GaN(질화갈륨)계 전력 소잦 제작 시 실리콘 기판측에 입자빔을 조사하여 박막 손상 없이 누설 전류가 발생할 수 있는 원인을 제거하고 전류의 흐름을 막는 항복 전압 특성을 개선시킨 기술