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기술 문의
반도체 웨이퍼 열특성 분석 장치
한국기초과학지원연구원
김건희
연구내용
대물렌즈의 광학계를 효율적으로 형성하여 대물렌즈의 크기를 최소화 시킨 반도체 웨이퍼 열특성 분석 장치에 관한 기술 활용처 : 반도체 소자, 반도체 웨이퍼, 전자소자
특허번호
10-1542468
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