PL(Photoluminescence Spectroscopy) 분석법을 이용하여 SiC 에피층에 존재하는 TSD(Threading Screw Dislocation) 및 TED(Threading Edge Dislocation) 결정 결함을 비파괴 방식으로 측정하여 에피층 성장 정도를 사전에 파악하고 제어하여 수율 향상에 기여할 수 있는 기술 PL 장치의 레이저 스케닝 스텝 간격 조절을 통해 출력된 TSD 및 TED 결함 이미지의 해상도 조절로 선명한 해상도의 데이터를 얻을 수 있는 비파괴 분석 장치에 대한 기술

산 또는 유해 화학물질 없이, Bottom-Up 방식을 이용한 그래핀 양자점 제조기술 - 에칭제, 산 또는 유해 화학물질의 사용 없이, 이온빔과 가열 처리만을 사용하는 바텀업(Bottom-Up) 방식을 통해 불순물 0%의 고결정성 그래핀 양자점을 제조할 수 있는 기술

레이저를 이용하여 곡면이나 복잡한 형상 표면에 전극회로(시드)를 구현하고, 무전해 도금을 통하여 20μm 이하의 미세패턴을 안정적으로 제작할 수 있는 기술

저농도 대기 오염 물질 선택적 검출 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 저농도의 대기 오염 물질을 고감도로 검출할 수 있 으며,필요에따라대기오염물질을선택적으로검출할수있는저농도대기오염물질선택적검출장치