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기술 데이터 1467

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화학 증착 공정용 점도 진단 시스템

화학 증착 공정에 있어서 캐니스터 내부에 수용된 전구체의 점도를 실시간으로 측정하여 전구체의 열화 정도를 진단 하기 위한 시스템 기술

한국화학연구원 허규용
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