사업화 유망 기술
연구내용
- 화학 증착 공정에 있어서 캐니스터 내부에 수용된 전구체의 점도를 실시간으로 측정하여 전구체의 열화 정도를 진단 하기 위한 시스템 기술
특허번호
10-2018-0123661