12대 국가전략기술
연구내용
- 나노결정립 복합세라믹과 마이크로결정립 모노리스세라믹을 이론밀도에 근접한 무기공(pore-free) 수준으로 소결함으로써 오염입자 발생과 직결된 소재의 식각률과 표면조도를 개선하여 반도체 공장장비의 내플라즈마 부품에 적용
특허번호