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공동 TLO 마케팅사무국

12대 국가전략기술

반도체 디스플레이 반도체 · 디스플레이 소재 · 부품 · 장비
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유리기판의 내구성 향상을 위한 사파이어 박막 증착 기술
한국원자력연구원 조상진
연구내용
  • 스파터링 방식을 이용한 사파이어 박막 증착 기술 및 방법 / 스파터링방식박막증착기맞춤제작노하우
특허번호