12대 국가전략기술
반도체 디스플레이
반도체 · 디스플레이 소재 · 부품 · 장비
전이금속 전구체, 이를 포함하는 액상 조성물 및 이를 이용하는 전이금속 칼코게나이드 박막의 제조방법
한국화학연구원
임종선
연구내용
- 신규한 전이금속 전구체를 이용함으로써, 열적 안정성이 우수하고 저온 열분해 공정에서도 균일한 결정립을 형성하고 안정적인 결정 구조를 형성함으로써, 고품질의 균일한 전이금속 칼코게나이드 박막을 제조하는 기술
특허번호
10-2018-0108811