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금속 칼코겐 화합물을 포함하는 포토레지스트 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법
한국화학연구원 정서현
연구내용
  • 화학증폭리간드가 도입된 금속칼코겐 화합물을 포함하며 금속 칼코겐 박막의 형성과 패터닝이 동시에 가능한 포토레지스트 조성물
특허번호