12대 국가전략기술
연구내용
- 이온빔을 사용, 시료 손상을 최소화하면서 증착소재 결함을 검출하는 방법 및 시스템
- - 진공 챔버 내 시료가 배치된 시료대, 시료에 이온빔을 조사하여 이온화 공정을 수행하는 조사부, 조사부에 의해 시료에 발생된 이온화 정도를 검출하는 검출부, 이온화 정도와 조사된 이온빔의 클러스터의 크기를 비교하여 시료 결함 여부를 판단하는 판단부로 구성된 증착소재 결함 검출 시 스템 관련 기술