12대 국가전략기술
연구내용
- 대물렌즈의 광학계를 효율적으로 형성하여 대물렌즈의 크기를 최소화 시킨 반도체 웨이퍼 열특성 분석 장치에 관한 기술
- 활용처 : 반도체 소자, 반도체 웨이퍼, 전자소자