12대 국가전략기술
연구내용
- 반도체나 디스플레이 제조환경 같은 진공 상태에서 대형 물품을 분진발생 없이 정밀 하게 이송할 수 있는 초정밀 자기부상 시스템 기술로서 수평형, 수직형, 천장형, 바닥형 등 다양한 구성에 대해 적용이 가능함