12대 국가전략기술
연구내용
- 차세대 반도체/OLED/태양전지 제조 산업 전(前) 공정분야의 유해 화학용액 사용 공정을 친환경 케미컬인 오존 플라즈마 공정 으로 대체하기 위하여, Footprint를 최소화하고 오존생성효율을 극대화할 수 있는 고효율·고농도 오존 플라즈마 생성장치 기술