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나노 구조물 제작 및 표면 기능화를 위한 저온 초박막 코팅 기술
한국기계연구원 곽은지
연구내용
  • 유연 디스플레이 혹은 폴리머 멤브레인과 같은 고분자 기반 기판 표면에 저온공정을 통한 기능성 금속/산화물 초박막을 코팅하는 기술
특허번호

10-1501005

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