저진공(1~50 Torr) 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치 기술을 제공함, 플라즈마를 이용한 분체의 코팅 및 처리가 가능하며, 장시간 운전이 가능한 기술임. (2.5kW, 6hr 연속동작 가능)

복수의 튜너를 이용하여 플라즈마 균일도 조절이 가능하며, 고전력 전달이 가능한 플라즈마 발생원 장치를 제공함.

본 기술은 분말 재료의 표면처리 및 유동성 향상 효율을 증대시키고 재료 품질을 향상시킬 수 있는 분말 처리장치에 관한 기술임.

N개의 RF 입력을 결합하기 위해 사용되는 방사형 전자기파 결합기는 기존의 동축 직각 도파관으로 결합 시 대칭성 문제로 인해, 결합의 손실이 발생할 수밖에 없는 문제가 있으나, 이를 극복하고, 전자기파 분배/결합 배율과 위상 분배/결합 배율을 일정하게 하여 고효율로 RF 에너지를 결합할 수 있는 공간 전자기파 결합기